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供求信息

高純鉬靶材

產品型號:

產品價格:

發布時間:2011-12-2 8:55:47

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產品詳情:
  洛陽兆光有色金屬有限公司
鎢鉬靶材及離子注入用磨光產品
鎢鉬靶材及離子注入用磨光產品因技術優越、產業化研究,生產規模、產能不斷擴大,品質體系健全、完善。產品現銷售到韓國、日本等地區,均得到用戶的肯定。可生產的TFT-LCD 和太陽能薄膜電池濺射靶材用鉬板的規格範圍:6~25×100~1500×≤3000 mm; 產品規格如:9.5×160×925mm;15×133×778mm;19×200×2700mm;10×885×960mm;14×1400×1700mm;16×1431×1650mm。


濺射靶材用于磁控濺射鍍膜,濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜(PVD)方式。

在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子, 靶上加有一定的負高壓,從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面, 以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。

濺射鍍膜的主要應用于:平板顯示器、鍍膜玻璃工業(主要包括建筑玻璃、汽車玻璃、光學薄膜玻璃等)、薄膜太陽能、 表面工程(裝飾&工具)、(磁、光)記錄介質、微電子、汽車車燈、裝飾鍍膜等。
可以根據用戶的要求提供以下尺寸的鉬濺射靶材:

板靶材: 單重:≤200kg/pc, 純度:≥99.97%
管靶材: 長度:≤Φ165mmΧ1000mm ,純度:≥99.97%

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